【摘 要】
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应用光刻和薄膜沉积技术，制作了多级衍射光学元件。对制作误差和影响误差的因素进行了分析。给出了改善对准误差的标校方法，并在实际的多级衍射光学元件制作过程中得到验证。
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室!长春130022,中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室!长春130022,中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验
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应用光刻和薄膜沉积技术，制作了多级衍射光学元件。对制作误差和影响误差的因素进行了分析。给出了改善对准误差的标校方法，并在实际的多级衍射光学元件制作过程中得到验证。
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