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聚焦离子束装置中的工件台及控制系统
聚焦离子束装置中的工件台及控制系统
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xingke198621
【摘 要】
:
聚焦离子柬技术(FIB)是一种集形貌观测、定位制样、成份分析、薄膜淀积和无掩模刻蚀各过程于一身的新型微纳加工技术。几十年来,随着关键技术的不断突破和完善,得到了前所未有的
【作 者】
:
马向国
刘同娟
顾文琪
【机 构】
:
北京物资学院,中国科学院电工研究所
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2007年3期
【关键词】
:
聚焦离子束
工件台
微纳加工
Focused Ion Beam
Workpiece-Stage Micro/Nano Fabrication-Technolo
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聚焦离子柬技术(FIB)是一种集形貌观测、定位制样、成份分析、薄膜淀积和无掩模刻蚀各过程于一身的新型微纳加工技术。几十年来,随着关键技术的不断突破和完善,得到了前所未有的发展,所突破的关键技术之一就是精密工件台的使用。
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