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本文阐述利用硅压阻式压力传感器在测压同时输出测温信号的原理与方法.在恒流供电条件下,对YZW-84型φ2.8mm 微型压力传感器进行了静态温度标定;在微机数据采集系统上测定了阶跃温度响应特性,借助软件进行数字滤波后,使YZW 型压力传感器的测温动态范围扩展1～2个数量级.
采用压力传感器同时测量动态压力与温度
【摘 要】
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本文阐述利用硅压阻式压力传感器在测压同时输出测温信号的原理与方法.在恒流供电条件下,对YZW-84型φ2.8mm 微型压力传感器进行了静态温度标定;在微机数据采集系统上测定了阶跃温度响应特性,借助软件进行数字滤波后,使YZW 型压力传感器的测温动态范围扩展1～2个数量级.
【机 构】
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西安交通大学电机系
【出 处】
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微电子学与计算机
【发表日期】
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1990年02期
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