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基于PZT的微驱动定位控制方法的研究
基于PZT的微驱动定位控制方法的研究
来源 :压电与声光 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zxms008
【摘 要】
:
介绍了基于PZT的一维微动工作台,采用平行板机构,对其进行了有限元分析设计.使用精密光栅进行位移闭环检测,采用模糊PI控制算法对系统进行控制,既具有模糊控制灵活而且适应性
【作 者】
:
孙立宁
孙绍云
曲东升
王力
蔡鹤皋
【机 构】
:
哈尔滨工业大学
【出 处】
:
压电与声光
【发表日期】
:
2003年5期
【关键词】
:
平行板
PZT驱动
模糊控制
parallel board
PZT actuator
fuzzy control
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介绍了基于PZT的一维微动工作台,采用平行板机构,对其进行了有限元分析设计.使用精密光栅进行位移闭环检测,采用模糊PI控制算法对系统进行控制,既具有模糊控制灵活而且适应性强的优点,又具有PI控制精度高的特点.实验证明了该方法的有效性.
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