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论述了装片机晶片台伺服电机选型计算和运动控制技术，采用伺服电机构成了半闭环反馈控制系统，实现了晶片台的高速、高精度定位控制。
装片机晶片台运动控制系统的分析
【摘 要】
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论述了装片机晶片台伺服电机选型计算和运动控制技术，采用伺服电机构成了半闭环反馈控制系统，实现了晶片台的高速、高精度定位控制。
【机 构】
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中国电子科技集团第四十五研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2010年5期
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