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本文以实验为基础，给出了各种金属的腐蚀液及其配比，得到了各种金属腐蚀参数，同时揭示了腐蚀过程中存在的问题及相关工艺对金属腐蚀的影响，并进行了分析。
薄膜金属腐蚀及相关工艺研究
【摘 要】
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本文以实验为基础，给出了各种金属的腐蚀液及其配比，得到了各种金属腐蚀参数，同时揭示了腐蚀过程中存在的问题及相关工艺对金属腐蚀的影响，并进行了分析。
【机 构】
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中国兵器工业第214研究所
【出 处】
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集成电路通讯
【发表日期】
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2005年1期
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