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选择一定的退火温度和退火时间,CoMnNiO非晶薄膜可以晶化为晶粒尺寸几个至几十个纳米的微晶薄膜,复阻抗频谱和电导频谱研究表明,这种微晶薄膜的粒间效应增强,在一定频率范围内微晶薄膜的电导低于非晶薄膜的电导,认为这种微晶薄膜的粒间组成是许多个原了尺度大小的无规网络,微晶薄膜的结构为纳米晶粒和非晶网络组成的两相结构,电导符合多渠道导电模型。