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Drastic Resistivity Reduction of CVD-TiO<sub>2</sub>Layers by Post-Wet-T

来源 :结晶过程及技术期刊(英文) | 被引量 : 0次 | 上传用户：daluo13613152523

【摘 要】

：

Poly-crystalline anatase TiO2 layer fabricated by LPCVD using titanium-tetra-iso-propoxide and NbF5 in H2-ambient was treated in conc.-HCl solution after thin l

【作 者】

：

Satoshi Yamauchi Kazuhiro Ishi 

【机 构】

：

DepartmentofBiomolecularFunctionalEngineering

【出 处】

：

结晶过程及技术期刊(英文)

【发表日期】

：

2015年1期

【关键词】

：

LPCVD Poly-Crystalline TIO2 POST Wet-Treatment Low Resistive TIO2 LPCVD Poly-Cry 

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Poly-crystalline anatase TiO2 layer fabricated by LPCVD using titanium-tetra-iso-propoxide and NbF5 in H2-ambient was treated in conc.-HCl solution after thin layer of IIIb-group metal was deposited on the TiO2 layer. Resistivity of the as-deposited layer

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