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介绍了DJL-600型碳化硅单晶炉的基本结构和电气控制系统的工作原理,结合实际工作经验和设备的结构特点阐述了DJL一600型单晶炉的维护和常见故障排除方法。
DJL-600型碳化硅单晶炉运行维护与故障排除
【摘 要】
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介绍了DJL-600型碳化硅单晶炉的基本结构和电气控制系统的工作原理,结合实际工作经验和设备的结构特点阐述了DJL一600型单晶炉的维护和常见故障排除方法。
【机 构】
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新疆天科合达蓝光半导体有限公司
【出 处】
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石河子科技
【发表日期】
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2016年2期
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