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针对强激光能源系统对Marx触发器的输出性能和可靠性要求,介绍了一种六级的Marx触发器。通过采用多级低电感脉冲形成电路获得了高幅值、陡前沿的输出脉冲,运用实验与概率分析相结合的方法,确定了它的工作参数。实验研究结果表明：这种Marx触发器的误触发率和触发气体开关成功率均符合两参数的威布尔概率分布;当欠压比为65%、工作电压为13.5kV、工作气压（绝压）为0.35MPa时,能输出幅值120kV、前沿20ns的电压脉冲;该触发器能同时满足误触发率低于0.000 1%,正常触发成功率高于99.9999%的技