【摘 要】
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本文基于UMC 28nm工艺和HfOx体系的RRAM器件进行1T1R存储单元设计,采用低压NMOS控制,提高1T1R单元的集成度,降低操作电压,以突破传统非易失性存储器闪存所面临的设计瓶颈,并最终流片验证。设计和测试结果表明最小存储单元面积达0.053um~2,操作电压控制在1.8V以内。以闪存为基础的非易失性存储架构虽是目前的主流方案,但是伴随着工艺制程地进步,其在物理、工艺、成本等诸多方面上面临着难以突破的瓶颈。
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本文基于UMC 28nm工艺和HfOx体系的RRAM器件进行1T1R存储单元设计,采用低压NMOS控制,提高1T1R单元的集成度,降低操作电压,以突破传统非易失性存储器闪存所面临的设计瓶颈,并最终流片验证。设计和测试结果表明最小存储单元面积达0.053um~2,操作电压控制在1.8V以内。以闪存为基础的非易失性存储架构虽是目前的主流方案,但是伴随着工艺制程地进步,其在物理、工艺、成本等诸多方面上面临着难以突破的瓶颈。
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