【摘 要】
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利用光纤激光加工系统研究了两个激光加工参数(扫描速度和激光功率)对TiN薄膜加工特性的影响,并采用白光干涉仪分析了两组参数对加工直线槽的槽深、堆积高度和槽底表面粗糙度
【机 构】
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北京动力机械研究所,北京航天控制仪器研究所,天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室,
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利用光纤激光加工系统研究了两个激光加工参数(扫描速度和激光功率)对TiN薄膜加工特性的影响,并采用白光干涉仪分析了两组参数对加工直线槽的槽深、堆积高度和槽底表面粗糙度的影响趋势,通过对比分析,优化了加工参数。结果表明光纤激光器在加工TiN薄膜微结构上存在着效率高、精度高的优势。
The effects of two laser processing parameters (scanning speed and laser power) on the processing characteristics of TiN thin films were studied by using the fiber laser processing system. The groove depth, stacking height and groove bottom of the straight groove were analyzed by using white light interferometer. Surface roughness of the trend, through comparative analysis, optimizing the processing parameters. The results show that the fiber laser has the advantages of high efficiency and high precision in processing the microstructure of TiN film.
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