钽的氮离子注入法研究

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研究了氮离子注入法对钽基材的表面强化,试验证实可大大提高钽材的表层硬度及耐蚀性能。俄歇电子能谱及X射线衍射分析表明,Ta在注入N+后生成了新相TaN(0.1)。 The surface strengthening of tantalum substrate by nitrogen ion implantation was studied. It was proved that the surface hardness and corrosion resistance of tantalum can be greatly improved by experiments. Auger electron spectroscopy and X-ray diffraction analysis showed that TaN (0.1) was formed when Ta was implanted into N +.
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