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激光在半导体材料加工中的应用与展望
激光在半导体材料加工中的应用与展望
来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:joeworms
【摘 要】
:
阐述了激光与半导体相互作用机理,通过激光直接写技术(LDW)及等离子软x射线源等具体实例,说明了激光在半导体材料加工中的应用。给出了实验结果,并对其前景作了展望。
【作 者】
:
秦萌青
李田泽
【机 构】
:
山东工程学院电气工程系
【出 处】
:
半导体技术
【发表日期】
:
1998年4期
【关键词】
:
软x射线源
X射线光刻
半导体材料
激光技术
LaserSoft x-ray sourcePlasmaX-ray lithography
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阐述了激光与半导体相互作用机理,通过激光直接写技术(LDW)及等离子软x射线源等具体实例,说明了激光在半导体材料加工中的应用。给出了实验结果,并对其前景作了展望。
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