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试论改良西门子法生产多晶硅的工艺
试论改良西门子法生产多晶硅的工艺
来源 :华章 | 被引量 : 0次 | 上传用户:gululukuaican
【摘 要】
:
多晶硅是硅产品产业链中的一个非常重要的中间产品,是制造硅抛光片、太阳能电池及高纯硅制品的主要原料,是信息产业和新能源产业最基础的原材料.改良西门子法生产多晶硅是目
【作 者】
:
王赫
屈宁
【机 构】
:
辽宁省石油化工规划设计院有限公司,辽宁沈阳,110000
【出 处】
:
华章
【发表日期】
:
2012年24期
【关键词】
:
多晶硅
改良西门子法
工艺设计
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多晶硅是硅产品产业链中的一个非常重要的中间产品,是制造硅抛光片、太阳能电池及高纯硅制品的主要原料,是信息产业和新能源产业最基础的原材料.改良西门子法生产多晶硅是目前最为成熟、应用最广泛、扩展速度最快的技术.本文对改良西门子法生产多晶硅的工艺流程作了介绍,并阐述了工程设计中需注意的问题.
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