试论改良西门子法生产多晶硅的工艺

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多晶硅是硅产品产业链中的一个非常重要的中间产品,是制造硅抛光片、太阳能电池及高纯硅制品的主要原料,是信息产业和新能源产业最基础的原材料.改良西门子法生产多晶硅是目前最为成熟、应用最广泛、扩展速度最快的技术.本文对改良西门子法生产多晶硅的工艺流程作了介绍,并阐述了工程设计中需注意的问题.
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