【摘 要】
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多晶的六角密排的c轴平行于衬底的ZnO膜已用射频溅射的方法制备出来，一电场感应的氧吸附在这些膜上被观察到．由紫外光照射或与Ar离子反应所产生的氧的脱附可使膜的电导率增加6－7
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多晶的六角密排的c轴平行于衬底的ZnO膜已用射频溅射的方法制备出来，一电场感应的氧吸附在这些膜上被观察到．由紫外光照射或与Ar离子反应所产生的氧的脱附可使膜的电导率增加6－7个数量级，并且一个积累层在膜的表面显现出来．
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