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讨论了纳米尺度下体系自由能的改变对扩散模型的影响。随着体系尺度的逐渐减小，扩散模型由Fick扩散定律转变为Cahn-Hilliard扩散方程和非均匀体系非线性动力学扩散模型，原子的扩散系数也随体系自由能的变化呈现出与局部原子浓度紧密相关的趋势。纳米尺度下体系自由能的变化是导致扩散模型改变的根本原因，体系非均匀性对自由能的贡献越大导致需采用非均匀体系非线性动力学扩散模型描述扩散。