超轻负荷触针式表面测量仪

来源 :航空精密制造技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：urtracy2009

【摘要】

：

日本NTT电子应用研究所开发了一种超轻负荷触针式表面测量仪(CPM),它与一般此类测量仪相比较,触针尖端半径减小到数十分之一,负荷减轻了3位数,试件由与STM(扫描隧道显微镜)相

【作者】

：

周菊芳

【出处】

：

航空精密制造技术

【发表日期】

：

1993年5期

【关键词】

：

表面测量轻负荷弹簧片扫描隧道显微镜压电元件应用研究所测头仪相横向分辨率纵向分辨率

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日本NTT电子应用研究所开发了一种超轻负荷触针式表面测量仪(CPM),它与一般此类测量仪相比较,触针尖端半径减小到数十分之一,负荷减轻了3位数,试件由与STM(扫描隧道显微镜)相同的三向压电元件来驱动,试件表面与安装在平行支撑的弹簧片上的触针相接触.支撑弹簧片的挠曲量用光学测头检出,试件位移由压

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