联合抽气系统

来源 :真空电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sbsb5503564
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
Leybold推出真空系统的新产品RVVAC系统。该系统将半导体的刻蚀处理设备装在一个完整的机壳内,它特别适用于金属刻蚀、反应离子刻蚀、等离子辅助化学气相沉积(CVD)和低压化学气相沉积(LPCVD)等。 Leybold Launches New RVVAC System for Vacuum Systems. The system incorporates semiconductor etch processing equipment in a complete enclosure that is particularly suitable for metal etching, reactive ion etching, plasma assisted chemical vapor deposition (CVD) and low pressure chemical vapor deposition (LPCVD).
其他文献
第一期北疆绿洲 -荒漠过渡带草地开发优化生态经济模型研究钱 翌 ,余 雄 ,郭星海 ( 1 )……新疆水资源短缺原因分析董新光 ,姜卉芳 ,邓铭江 ( 1 0 )……………………………
截至今年5月,由秦皇岛亚细亚职业技能培训学校校长张跃进研制推出的新型医疗保健项目——循经火疗,已经在全国发展100多位地市级代理商及省级代理商。其中,95%已投入运作,绝
碳酸盐草甸土质地粘糗紧实,通透性能差,土壤养分释放能力低,田间持水量低,不耐涝,又不抗旱,是制约粮食产量不稳定的原因之一。近几年来,我县对碳酸盐草甸土进行一系列的改良,根据它的
The integrated and comprehensive development of International River Basin is an important aspect ofsocial sustainability.The reasonable utilization and coordina
Vertical eye deviation in hypoxic coma is considered to be rare. In contrast, we found that in a consecutive series of 50 postresuscitation comatose patients, 2
诱变育种是行之有效的新的育种方法之一,对于如何提高诱变效率仍是一个迫切的研究课题。迄今,关于不同诱变源诱发突变及其生物学效应的研究报道尚少,我们采用Ar~+激光、(γ)
请下载后查看,本文暂不支持在线获取查看简介。 Please download to view, this article does not support online access to view profile.
7月4日,深圳在市民中心召开全市绿化工作会议。这次会议是深圳提升市容环境、提高城市发展质量、加快建设现代化国际化先进城市作出的又一次重要工作部署。会议印发了市委市
这次全国农村经营管理工作会议是在党的十五届五中全会刚刚结束不久召开的,意义深远、非常重要。党的十一届三中全会以来,每当在农村改革向前推进的关键时刻,我们都召开一次全国
本文根据我国激光育种工作情况从三个方面谈了笔者对该工作的设想,根据DNA分子结构的特点谈选择适宜激光条件问题、利用计算机统计规律及育种选材。 Based on the work of l