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介绍了离子注入技术的特点及其原理,在分析介绍其设备种类的基础上,简要概述了离子注入设备的基本结构,详细分析了影响注入工艺的各种因素,根据多年的设备维护经验,总结归纳了离子注入机的常见故障,并提出了各种故障的处理措施。
离子注入技术与设备常见故障分析
【摘 要】
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介绍了离子注入技术的特点及其原理,在分析介绍其设备种类的基础上,简要概述了离子注入设备的基本结构,详细分析了影响注入工艺的各种因素,根据多年的设备维护经验,总结归纳
【机 构】
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中国电子科技集团公司第十三研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2015年5期
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