一种高g值微冲击开关的研制

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采用微机电系统(MEMS)技术设计制作了一种微冲击开关,其敏感元件由悬臂梁支撑的质量块和其下的微触点构成.在冲击加速度作用下,质量块与触点碰撞实现接通.开关芯片体积为5 mm×5 mm×0.5 mm,动作门限3 000g,响应时间84 μs,能承受极端的高冲击而不破坏.
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