切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
您的位置
首页
期刊论文
微机械加工薄膜压力传感器的非线性特性
微机械加工薄膜压力传感器的非线性特性
来源 :仪表技术与传感器 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yujiesky
【摘 要】
:
热残余应力对微机械加工制备的压力传感元件的非线性有重要影响。通过测量晶片曲率计算残余应力、有限元分析以及实验对照等方法,为解决氮化硅的残余应力和膜片厚度引起压力非线性问题建立了一个优化设计的窗口。
【作 者】
:
牟军
【机 构】
:
杭州照相机械研究所
【出 处】
:
仪表技术与传感器
【发表日期】
:
2009年03期
【关键词】
:
压力传感元件
压力非线性
残余应力
pressure sensor pressure nonlinearity residual stress
下载到本地 , 更方便阅读
下载此文
赞助VIP
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
热残余应力对微机械加工制备的压力传感元件的非线性有重要影响。通过测量晶片曲率计算残余应力、有限元分析以及实验对照等方法,为解决氮化硅的残余应力和膜片厚度引起压力非线性问题建立了一个优化设计的窗口。
其他文献
凤太铅锌矿集区污染及防治
凤太矿集区是我国重要的铅锌资源基地,多年来无序开采造成了严重的环境问题,主要表现为:土壤重金属元素超标、地表水污染等问题。根据矿集区污染特征提出了电动修复法、含磷
期刊
土壤污染
铅锌矿区
修复治理
推广清洁生产、发展循环经济电泳涂装生产线的应用及前景
全世界很多国家(包括中国在内)在发展经济的同时,都已将节约能源与保护环境放在重要位置!由于受“先发展、后治理”思维的影响,当前大多数企业的做法是对产生的废水、废气和固体
期刊
循环经济
涂装生产线
清洁生产
应用
电泳
固体废弃物
保护环境
节约能源
汪伪战时体制下的金融统制
1943年1月,汪伪政府正式对英美宣战,并在其统治区实行所谓的“战时体制”。在金融领域,汪伪政府通过强化战时金融统制,加强了中央储备银行的职能,实现了币制的统一。但它并没
期刊
汪伪政府
战时体制
金融统制
the illegal Wang Jing wei Illegitimate Administration
war system
中国近代社会阶级结构的特点与中国现代化的出路
中国近代社会阶级结构的特点与中国现代化的出路董宝训“现代化”是当今社会人们使用频率较高的一个词。但是关于现代化的定义学术界却一直未能形成一种大家一致共认的较为权威性的阐释。这一方面是因为人们看问题的角度不同,另一方面则是由于现代化所包含的内容具有多变...
期刊
中国现代化道路
中国近代社会
阶级结构
无产阶级
《毛泽东选集》
民族资产阶级
中国人民
民主主义革命
农民阶级
实现现代化
涂层刀片的铣削性能分析及工艺推广
对比分析了涂层铣刀片和一般硬质合金铣刀片在铣削铸件时的不同切削参数,阐述了切削参数对工件质量和刀片耐用度的影响,提出了合理选择切削参数的原则。
期刊
涂层刀片
工艺推广
性能分析
铣削
切削参数
硬质合金
工件质量
铣刀片
耕地保护进入“数质并重”新常态
我国经济发展已步入中低速增长期、提质增效的新常态,这要求我们加快转变农业发展方式,把粮食安全放在首位。当前,农业持续稳定发展面临农业生态环境受损,耕地、淡水资源紧张
期刊
耕地保护
农业生态环境
持续稳定发展
农业发展
粮食安全
国土资源部
经济发展
淡水资源
2012年内蒙古自治区城市地价稳中有升
根据呼和浩特市、包头市、呼伦贝尔市海拉尔区、通辽市科尔沁区、乌兰浩特市、锡林浩特市、鄂尔多斯东胜区和满洲里市八个城市开展城市地价动态监测工作。
期刊
城市地价
内蒙古自治区
通辽市科尔沁区
呼和浩特市
呼伦贝尔市
乌兰浩特市
锡林浩特市
监测工作
论经济全球化的挑战及对策
经济全球化已成为一种不可逆转的历史发展大趋势,正引起人们的普遍关注和重视。但是,经济全球化具体表现在哪些方面?它的主要标志是什么?经济全球化对我国经济发展会带来哪些挑
期刊
经济全球化
经营理念
中国
经济发展
生产要素
产品市场
产业结构
Globalization
Symbol
Challenge
Countermeasure
表、浅部地震地质条件对地震勘探效果的影响
地震地质条件是决定一个煤田开展地震勘探工作的客观条件,通常可分为表、浅部条件和深部条件。表、浅部地震地质条件是指地表及一定深度的地质和地貌特征,它主要影响地震勘探
期刊
地震勘探
表、浅部地震地质条件
勘探效果
明清时期的张秋镇
明清时期的张秋镇官美堞张秋曾是山东西南部一个古老而繁华的大镇。其地名最早见于记载是在汉武帝元光年间,即公元前134—129年((东阿县志)#3)。五代周显德(954—959)时,黄河决杨刘镇(位东阿县北60里),当
期刊
明清时期
会通河
运河
东阿县
南北交通
人民公社
手工工厂
山西商人
铜瓦厢
《明史》
与本文相关的学术论文