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针对传统微电容测量技术存在的缺点，根据参比电容和锁定放大技术的微电容测量原理，研制出1种微电容测量仪．该微电容测量仪采用参比测量技术，用锁定放大技术对测量系统的噪声进行抑制．试验表明采用参比测量技术使测量结果不受激励电压波形和幅度影响．该微电容测量仪的最小测量量程达到0．1pF，其微电容测量电路已申请发明专利．