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使用等离子体浸没离子注入与沉积（PIII＆D）技术在轴承钢基体表面合成类金刚石（DLC）薄膜，研究了薄膜的结构和性能．结果表明，所制备的DLC薄膜主要是由金刚石键（sp^3）和石墨键（sp^2）组成的混合无定形碳，且sp^3键含量大于10％．DLC膜层致密均匀，与基体结合良好．DLC膜具有很高的硬度和杨氏模量，分别达到40GPa和430GPA；其最低摩擦系数由基体的0．87下降到0．2．被处理薄膜试件在90％置信区间下的L10、L50、La和平均寿命L较基体分别延长了10．1倍、4．2倍、3．5倍和3．4