【摘 要】
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设计一种基于Stewart构型的具有高精度和高刚度的六自由度精密调整机构。首先,对调整机构进行构型设计并作了运动学分析;接着,建立了误差模型并对构型进行了精度分析,包括精
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院大学研究生院
【基金项目】
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国家自然科学基金项目(11672290),吉林省科技发展计划项目(20160520074JH),中国科学院青年创新促进会(2014195)资助
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设计一种基于Stewart构型的具有高精度和高刚度的六自由度精密调整机构。首先,对调整机构进行构型设计并作了运动学分析;接着,建立了误差模型并对构型进行了精度分析,包括精度分配及模特卡洛模拟法验证;之后,根据理论分析结果,对调整机构进行结构设计,主要包括单足位移促动器的设计和偏置铰链的设计;最后,对调整机构进行了刚度分析。本文的分析结果为此六自由度调整机构的重复定位精度为X、Y向±2μm,Z向±0.54μm,Rx,Ry,Rz方向±6.13μrad,横向振动基频为104.3Hz
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