【摘 要】
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本文在大量实验测量的基础上，对影响ＮＴＤ硅掺杂精度的因素作了较为详细的研究，给出了一些定量和定性的结果。用这些结果指导清华大学反应堆上ＮＴＤ硅的生产得到了满意的掺杂精度．在大批量
【机 构】
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核能技术研究所rrrrrrrrn,核能技术研究所
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本文在大量实验测量的基础上，对影响ＮＴＤ硅掺杂精度的因素作了较为详细的研究，给出了一些定量和定性的结果。用这些结果指导清华大学反应堆上ＮＴＤ硅的生产得到了满意的掺杂精度．在大批量的辐照条件下．对各种目标电阻率硅单晶的掺一杂，电阻率命中率＞９０％．断面电阻率不均匀度＜５％．
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