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在退火温度为600℃、650℃、700℃和750℃的条件下,采用化学溶液沉积法(CSD),在Pt/Ti/Si O2/Si(100)基底上制备了4批Bi3.15Nd0.85Ti2.97Mg0.03O12(BNTM)铁电薄膜.同时,研究了退火温度对薄膜结晶性能、表面形貌以及铁电性能(剩余极化和漏电流)的影响.结果表明,经650℃退火处理的BNTM铁电薄膜具有较好的铁电性能,其剩余极化强度(2Pr)和矫顽场(2Ec)分别为37.8μC/cm^2和182.2kV/cm,漏电流密度达到1.61E-7 A/cm^2.