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提出了一种新的高精度时间间隔测量方法，单次测量可以达到亚皮秒（rms〈1ps）量级测量精度。简单介绍了这种基于声表面波技术的高精度时间间隔测量方法原理与系统组成，阐述了影响系统测量精度的主要因素，分为系统误差和随机误差。针对系统误差进行详细分析，给出其对测量精度的影响范围。通过理论分析，得到决定系统误差大小的重要参数，从而合理设计参数来降低系统误差对测量精度的影响。