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本文根据气流模型研究了反应室结构与光激发汽相淀积（PVD）SiO2薄膜均匀性的关系,并且讨论了工艺参数对PVD SiO2薄膜均匀性的影响。
反应室结构与工艺参数对PVD SiO2薄膜均匀性的影响
【摘 要】
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本文根据气流模型研究了反应室结构与光激发汽相淀积（PVD）SiO2薄膜均匀性的关系,并且讨论了工艺参数对PVD SiO2薄膜均匀性的影响。
【机 构】
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西安电子科技大学物理系,西安电子科技大学物理系,西安电子科技大学物理系,西安电子科技大学物理系
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
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1989年04期
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