【摘 要】
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为了测量控机床结构件、微加工工作台的微小变形量，设计了一种高精度弓型光纤布拉格光栅（FBG）微位移传感器。将光纤布拉格光栅的栅区部分粘贴在弓型上下壁处，当弓形件发生变形时，
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(No.51375358)
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为了测量控机床结构件、微加工工作台的微小变形量，设计了一种高精度弓型光纤布拉格光栅（FBG）微位移传感器。将光纤布拉格光栅的栅区部分粘贴在弓型上下壁处，当弓形件发生变形时，可测出上下壁的应变值，从而测得位移值并进行温度解耦。实验结果表明，在量程为1 mm时，传感器的灵敏度为2.02 pm/μm，线性相关系数为0.998 3，实验的迟滞误差为4.08%，重复性误差为4.08%。在温度补偿实验中可以看出，当温度上升1℃，波长漂移量不到1 pm。类似于弓型结构衍生出一种半弓型结构的位移传感器。两类传感器相比，弓
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