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低温泵的冷源是小型气体制冷机。制冷系统在长期运行中可能发生种种故障，使制冷工况发生变化。制冷机制冷工况的变化，对制冷机一，二级冷头的制冷量和制冷温度有明显影响，从而对低温泵抽气特性产生重大影响。
制冷机工况变化对低温泵抽气特性的影响
【摘 要】
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低温泵的冷源是小型气体制冷机。制冷系统在长期运行中可能发生种种故障，使制冷工况发生变化。制冷机制冷工况的变化，对制冷机一，二级冷头的制冷量和制冷温度有明显影响，从而对低
【机 构】
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东南大学电子工程系
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1998年5期
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