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微加热式微气压传感器测试电路的设计与分析
微加热式微气压传感器测试电路的设计与分析
来源 :中国机械工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ylyyjj
【摘 要】
:
根据已研制的微加热式微气压传感器的加热电阻,设计了恒温、恒功率、恒压电桥三种测试电路,并对它们作了深入的分析对比.通过对微加热式微气压传感器的初步测试,发现传感器在
【作 者】
:
江胜峰
金仁成
唐祯安
张凤田
高仁璟
【机 构】
:
大连理工大学
【出 处】
:
中国机械工程
【发表日期】
:
2005年z1期
【关键词】
:
微加热式微气压传感器
恒温
测试电路
加热电阻
【基金项目】
:
国家自然科学基金资助重点项目(90207003)
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根据已研制的微加热式微气压传感器的加热电阻,设计了恒温、恒功率、恒压电桥三种测试电路,并对它们作了深入的分析对比.通过对微加热式微气压传感器的初步测试,发现传感器在恒温工作模式下有较高的灵敏度.
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