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本文采用电镀金刚石锯超声振动切割加工方法研究了磨粒度、线往复运动频率、侧向压力等工艺参数对二氧化锆陶瓷材料去除率的影响及表面粗糙度的关系。实验结果表明该种加工方法与相同实验条件下的未施加超声振动相比当磨料粒度为180#、线锯往复运动频率450 Hz、侧向压力10 N时,其加工材料去除率为21.8 mm/min;而未施加超声振动,其加工材料去除率仅7.5 mm/min;提高了近3倍。表面粗糙度也由Ral.3-1.5μm降低到Ra0.7-0.8μm。从其加工表面的形貌特征可以清楚地看到,施加超声振动的切割表面