用TEM分析溅射法制备Ag超微粒的空间分布

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用透射电镜对在氩气中电离溅射沉积于碳膜上的Ag超微粒进行了直接研究。通过明场象和电子衍射观察分析发现,在溅射入射角为60°时,经不同的出射角收集,形成的超微粒的粒径、粒径分布、形态和物相结构各有不同。
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