长波HgCdTe光伏器件漏电机理分析

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从器件制造工艺的角度,分析了长波HgCdTe光伏探测器的体内和表面漏电机理,认为深能级的辅助跃迁在体内漏电方面起主要作用。选择适当的离子注入剂量,可有效地降低体内深能级密度。表面漏电则与HgCdTe的表百状态有关,ZnS/HgCdTe之间的界面状态与HgCdTe表面的预处理方法有直接关系。控制ZuS/HgCdTe界面组成元素组分,便能控制表面状态,减小表面漏电。经采取相应工艺措施,n+p结的特性明显提高,单片测量平均零偏阻抗R0~105Ω,平均器件优质R0A~1Ωcm2。
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