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开发新产品时，经常要估算晶圆上有效芯片数，以往大多靠经验公式估计，它们通常有较大的误差，本文提出了精确计算晶圆上有效芯片数的新算法——椭圆公式，它特别适合于大规格晶圆，高成品率的生产线上应用。
晶圆有效芯片数的新算法——椭圆算法
【摘 要】
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开发新产品时，经常要估算晶圆上有效芯片数，以往大多靠经验公式估计，它们通常有较大的误差，本文提出了精确计算晶圆上有效芯片数的新算法——椭圆公式，它特别适合于大规格晶圆，高成
【机 构】
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中国科大兼职教授
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2003年5期
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