切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
您的位置
首页
期刊论文
微洁净环境中的颗粒监测
微洁净环境中的颗粒监测
来源 :集成电路应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xingli1314
【摘 要】
:
微环境的出现极大地提高了半导体加工过程的洁净度。新的微环境设计原理,例如防护罩、正压强和机械臂的应用使其性能明显地优于传统的设计。安装和调校微洁净环境的过程为精
【作 者】
:
沈健
【机 构】
:
美国颗粒测量系统公司ParticleMeasuringSystems
【出 处】
:
集成电路应用
【发表日期】
:
2003年9期
【关键词】
:
微洁净环境
颗粒监测
洁净度
半导体加工
离子注入机
硅片探针台
下载到本地 , 更方便阅读
下载此文
赞助VIP
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
微环境的出现极大地提高了半导体加工过程的洁净度。新的微环境设计原理,例如防护罩、正压强和机械臂的应用使其性能明显地优于传统的设计。安装和调校微洁净环境的过程为精确调试工艺设备提供了的机会,使之能在ISO一级或二级洁净度的环境中开始运行。
其他文献
加拿大浆纸业转型:发展高附加值生物材料制造业及对中国市场的潜在影响
加拿大一直是全球最大的纸浆生产地区之一,目前全球纸浆生产和市场正在发生新的变化。2019年中国国际造纸创新发展论坛邀请加拿大不列颠哥伦比亚省(BC省)林业、土地、自然资
期刊
纸浆生产
转型发展
浆纸业
高级经济师
国际造纸
制造业
自然资源
潜在影响
体育院校图书馆自媒体服务推广研究——以微信公众号为例
随着智能手机普及率的上升、移动用户数量的上涨、移动互联网速度的提升、移动信息服务对人类生活方方面面的渗透,促成了自媒体时代的到来。微信以其互动性和双向性等特点成
会议
微信
图书馆
体育院校
自媒体
移动信息服务
B.s和B.t.H14混合发酵液在不同水质中的灭蚊效果
B.s和B.t.H_(14)混合发酵液在不同水质中的灭蚊效果郝延玉,郝静,周长营为了使B.s和B.t.H(14)混合发酵液充分发挥灭蚊作用,笔者对部分影响因素(水质)进行了探讨。现报告如下:一、材料和方法:1.B.s和B.t.H(14)混合发酵液,山?..
期刊
灭蚊
杀虫剂
B.S杀蚊剂
B.t.H14
混合发酵液
跳动的大山脉搏——遵义市汇川区发挥农村公路效益推进脱贫攻坚
为落实全国新闻战线“新时代新气象新作为”大型主题采访活动,本刊从12月8日起推出“新时代新气象新作为”专栏,连续刊发一批有深度有分量的报道.生动呈现全省各领域、各行业“
期刊
农村公路
遵义市
脱贫
效益
脉搏
大山
采访活动
新闻战线
^60Coγ射线在炸药柱中衰减规律的实验研究
利用最小二乘法对测得的不同厚度的炸药柱的计数率进行拟合,得到γ射线在某炸药中的衰减服从指数规律,且线性吸收系数为1.007.
期刊
^60Coγ射线
最小二乘法
炸药柱
衰减规律
计数率
衰减系数
γ-rayexplosivefading factor experimental determ
湖北省1971至1997年疟疾流行态势分析
目的:掌握疟疾流行态势。方法:分析各县(市)疟疾疫情报告。结果:全省疟疾流行可分为4个时期,即暴发流行期(1971 ̄1977)、流行期(1978 ̄1986)、基本控制期(1987 ̄1992)、流行稳定期(1993 ̄1997)。经分析表明:在不同的疟疾流行期及不同媒
期刊
疟疾
流行态势
湖北
MalariaEpidemicsAnalysis
两种分布加载电磁脉冲天线的FDTD方法模拟
为了研究电磁脉冲(EMP)对各种电子系统的效应规律,需要设计一种合适的EMP辐射天线.采用时域有限差分(FDTD)方法考察了柱形和锥形两种分布加载行波天线的瞬态辐射特性,详细讨
期刊
分布加载电磁脉冲天线
EMP
FDTD
电子系统
时域有限差分
柱形
锥形
频谱
干扰
cylindrical antenna conical antenna
英特尔与中兴携手提供全球无线宽带网络
英特尔公司和中兴公司近期宣布,双方将协作提供采用WiMAX技术的全球宽带无线解决方案。WiMAX是一种新兴的无线标准,旨在为固定和移动无线网络提供高速宽带连接。
期刊
英特尔公司
中兴公司
WIMAX技术
无线标准
宽带连接
无线宽带网络
以“六区”思路谱余庆新章
余庆县紧紧围绕“六区”新目标,强力推进项目建设,大力调整产业结构。持续改善民本民生,全面加强对外开放合作。
期刊
余庆县
调整产业结构
项目建设
持续改善
开放合作
原材料缺货导致晶圆价位上扬
根据EE Times报导,Advanced Silicon Materials LLC(ASiMi)宣布该公司即将结束polysilicon(polycrystalline)材料的销售,这种材料被使用在硅晶圆的生产上;该公司此项决定将会进一步
期刊
原材料
硅晶圆
价位
缺货
Silicon
TIMES
公司
全球
销售
与本文相关的学术论文