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采用分子动力学方法对氮化铝材料的表面热氧化过程进行了研究,开发了包含Al、N和O三种元素的反应势,探讨了氧化温度和时间对材料结构的影响。发现温度越高氧化反应越容易进行,氧扩散进入纤锌矿结构的氮化铝表面后会生成Al-O-N无定型结构的氧化膜,氧化时间增长时会阻止材料的进一步氧化。
氮化铝表面热氧化的分子动力学研究
【摘 要】
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采用分子动力学方法对氮化铝材料的表面热氧化过程进行了研究,开发了包含Al、N和O三种元素的反应势,探讨了氧化温度和时间对材料结构的影响。发现温度越高氧化反应越容易进行
【机 构】
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湖南理工学院物理与电子学院,湖北大学知行学院
【出 处】
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科技创新导报
【发表日期】
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2018年5期
【基金项目】
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国家自然科学基金(项目编号:51407066)资助;湖南省自然科学基金(项目编号:13JJ6066)资助;湖南省教育厅科学研究基金(项目编号:16C0716)资助
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