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波长扫描光纤干涉仪扫描模型的建立及分析
波长扫描光纤干涉仪扫描模型的建立及分析
来源 :红外与毫米波学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Jason51090
【摘 要】
:
介绍了一种瓣的可用于绝对距离测量的波长扫描光纤干涉仪,建立了测量系统及波长扫描的模型,分析了波长扫描的随机漂移对测量的影响,提出了对光源扫描性能的要求,实验结果表明,测量
【作 者】
:
王勇
廖延彪
田芊
【机 构】
:
清华大学电子工程系,清华大学精密仪器系
【出 处】
:
红外与毫米波学报
【发表日期】
:
1998年6期
【关键词】
:
光纤干涉仪
波长扫描
距离
扫描模型
干涉仪
fiberoptic interferometer
wavelength scanning
distance
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介绍了一种瓣的可用于绝对距离测量的波长扫描光纤干涉仪,建立了测量系统及波长扫描的模型,分析了波长扫描的随机漂移对测量的影响,提出了对光源扫描性能的要求,实验结果表明,测量系统的精度可达到0.05μm。
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