【摘 要】
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We have designed and realized an athermal 4-channel wavelength (de-)multiplexer in silicon nitride (SiN). Minimized thermal sensitivity is achieved in a wide wavelength range by using wide and narrow waveguides with low and different thermal-optic coeffic
【机 构】
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WuhanNationalLaboratoryforOptoelectronics,HuazhongUniversityofScienceandTechnology,Wuhan430074,China
【出 处】
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PhotonicsResearch
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We have designed and realized an athermal 4-channel wavelength (de-)multiplexer in silicon nitride (SiN). Minimized thermal sensitivity is achieved in a wide wavelength range by using wide and narrow waveguides with low and different thermal-optic coefficients in the two arms of Mach–Zehnder interferometers (MZIs). The SiN core layer and SiO2 cladding layers are deposited by a low-temperature plasma-enhanced chemical vapor deposition process. The fabricated MZI filter exhibits a thermal sensitivity within ±2.0 pm/°C in a wavelength range of 55 nm to near 1300 nm. Then, an athermal (de-)multiplexer based on cascaded MZIs has been demonstrated with a crosstalk ≤ 22 dB and a thermal sensitivity
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