【摘 要】
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微机电系统（MEMS）的广泛应用推动了微型动力源的研究发展.微小型热电发电器（Power MEMS）具有体积小、安静、无运动部件等优点,可用于多种特殊的场合.对国内外热电材料及微小型热
【机 构】
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浙江大学流体传动及控制国家重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(项目编号:50275135);国家“863”高技术研究发展计划资助项目(项目编号:2002AA404040);教育部博士学科点专项科研基金资助项目
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微机电系统（MEMS）的广泛应用推动了微型动力源的研究发展.微小型热电发电器（Power MEMS）具有体积小、安静、无运动部件等优点,可用于多种特殊的场合.对国内外热电材料及微小型热电发电器的最新研究情况进行了概述,阐述了几种热电发电器的性能特点,并进行了对比分析.提出微小型热电堆方案具有体积小、功率密度高的特点,具有广泛的应用前景.讨论了微小型热电发电器的性能优化以及微加工实现的一些关键问题.
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