超精密齿距偏差测量中测点位置的误差补偿

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为实现测点位置难于布置到被测齿轮分度圆上超精密齿轮齿距偏差的测量,对测头直径及测点位置参数对齿轮齿距累积偏差测量的影响进行了理论分析与实验研究.首先建立了测头直径和测头位置参数与齿距累积偏差的映射关系;然后推导出齿距累积偏差测量中的测点位置误差补偿系数;最后通过一组精密测试实验,证实了不同测量圆上获取的齿距偏差示值之间的存在差异,然而通过引入测点位置误差补偿系数将其折算到被测齿轮分度圆上,得到的齿距累积偏差值基本一致.本例中,不同测量圆上两次获取的齿距累积总偏差测量结果的最大差值仅为0.09 μm,平均差
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