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下一代光刻开发的进展
下一代光刻开发的进展
来源 :中国集成电路 | 被引量 : 0次 | 上传用户:huolong820
【摘 要】
:
虽然下一代光刻(NGL)技术的开发仍在继续大力开展工作,但许多人一直支持“不断延续光学光刻”的呼声。248nm光刻性能的进一步扩展,更激励许多企业界人士指望用193nm光刻来完成4
【出 处】
:
中国集成电路
【发表日期】
:
2004年4期
【关键词】
:
下一代光刻
极远紫外光刻
电子束光刻
分辨率增强
浸没法光刻
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虽然下一代光刻(NGL)技术的开发仍在继续大力开展工作,但许多人一直支持“不断延续光学光刻”的呼声。248nm光刻性能的进一步扩展,更激励许多企业界人士指望用193nm光刻来完成45nm技术节点的光刻。
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