【摘 要】
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采用氮直流辉光放电等离子体中快电子和重粒子(N+2,N+,Nf)混合的蒙特卡罗方法,模拟研究了快原子态粒子(N+,Nf)的产生率及轰击阴极的能量分布随宏观放电参数(P,Ve)的变化规律.
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采用氮直流辉光放电等离子体中快电子和重粒子(N+2,N+,Nf)混合的蒙特卡罗方法,模拟研究了快原子态粒子(N+,Nf)的产生率及轰击阴极的能量分布随宏观放电参数(P,Ve)的变化规律.结果表明,存在一最佳放电条件,使阴极壁处粒子(N+,Nf)的粒子数密度大且能量高;当电压大于800V时,轰击阴极的活性粒子(N+,Nf),主要由N+2-N2离解过程产生,电压小于300 V时,主要由e -N2离解过程产生,模拟结果与实验结果相符合.
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