【摘 要】
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采用原位红外测试技术,在线观测了化学气相淀积反应器内TiCl_4的均相氧化反应。捕获了两种重要活性中间体TiCl_3和TiOCl_2,从而导出该反应的机理模型。并采用尾气红外定量分
【机 构】
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华东化工学院技术化学物理研究室国家重点固定床反应工程实验室,华东化工学院技术化学物理研究室国家重点固定床反应工程实验室,华东化工学院技术化学物理研究室国家重点固定床反应工程实验室,华东化工学院技术化学
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采用原位红外测试技术,在线观测了化学气相淀积反应器内TiCl_4的均相氧化反应。捕获了两种重要活性中间体TiCl_3和TiOCl_2,从而导出该反应的机理模型。并采用尾气红外定量分析方法得到了TiCl_4氧化反应的动力学方程及反应活化能。反应活化能:66.8 kJ/mol,指前因子:2.45×10~2/s。
In-situ infrared measurement was used to observe the homogeneous oxidation of TiCl 4 in the chemical vapor deposition reactor. Two important active intermediates, TiCl 3 and TiOCl 2, were captured, and the mechanism model of the reaction was derived. The kinetic equation and reaction activation energy of TiCl 4 oxidation were obtained by quantitative analysis of tail gas. Reactive activation energy: 66.8 kJ / mol, pre-exponential factor: 2.45 × 10 ~ 2 / s.
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