【摘 要】
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申请(专利)号:201380043627.9公开(公告)日:2015-05-13申请(专利权)人:奥瑟亚新材料股份有限公司摘要:本发明涉及一种锗烷气体制备装置及利用其制备单锗烷气体的方法。
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申请(专利)号:201380043627.9公开(公告)日:2015-05-13申请(专利权)人:奥瑟亚新材料股份有限公司摘要:本发明涉及一种锗烷气体制备装置及利用其制备单锗烷气体的方法。
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