【摘 要】
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设计了一种基于狭缝波导的级联微环耦合谐振腔的声学传感器。分析狭缝波导结构特性并应用于级联微环谐振腔,基于光波导耦合模式方程得到系统的透射谱公式,构建出基于狭缝级联
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(11504074),国家重点实验室开放基金资助项目(KF201801)
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设计了一种基于狭缝波导的级联微环耦合谐振腔的声学传感器。分析狭缝波导结构特性并应用于级联微环谐振腔,基于光波导耦合模式方程得到系统的透射谱公式,构建出基于狭缝级联微环耦合谐振腔理论模型,利用时域有限差分法模拟计算系统的光学特性,再根据材料的声学特性和弹光效应,利用有限元法模拟计算系统的声学特性,得到系统的声学传感特性。研究表明:微环半径为5μm时,Q值达到1.24×10^4,系统灵敏度达到2 453.7 mV/kPa,声波检测范围为150 MHz。
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