论文部分内容阅读
研究了用铟锡合金靶直流磁控反应溅射制备ＩＴＯ透明导电膜。介绍了膜的制备工艺和膜的特性，讨论了成膜过程和热处理对膜的电阻率和透光率的影响。
直流磁控反应溅射沉积ITO透明导电膜的研究
【摘 要】
：
研究了用铟锡合金靶直流磁控反应溅射制备ＩＴＯ透明导电膜。介绍了膜的制备工艺和膜的特性，讨论了成膜过程和热处理对膜的电阻率和透光率的影响。
【机 构】
：
东南大学薄膜研究所
【出 处】
：
光电子技术
【发表日期】
：
1995年1期
其他文献
Ａｌ栅可明显降低ＡＭ－ＬＣＤ中ａ－Ｓｉ ＴＦＴ矩阵的栅总线电阻及栅脉冲信号延迟，有利于提高高密显示屏的开口率与图像质量。本文详细分析了Ａｌ栅的阳极氧化技术，获得了适于ａ－Ｓｉ ＴＦＴ复合栅的Ａｌ２Ｏ３栅绝缘材料。
在温度和辐射基本定律的基础上，讨论了利用物体辐射红外能量进行非接触式测温的一些基本要点，针对热释电红外电视这一特殊的红外成像系统的特点，提出了红外热电视测温的可能性及
本文叙述自动化仪表用光柱显示技术的工作原理及器件结构，重点论述直流等离子体光柱，发光二极管光柱，真空荧光及液晶光柱器件的结构和驱动电路，还展望光柱显示的发展趋势。
在温州印刷企业之中，尽管不少企业选择了多元化的经营策略，其实只是将其视为一种摆脱危机的策略，主业一直没有放弃，甚至可以这样说，多元化经营是为了更好地发展印刷主业。
2010年7月16日，柯达图文影像集团携手威誉印刷设备（深圳）有限公司和厦门市鑫兴达印刷器材有限公司，在鹭岛厦门举办2010数字化印刷研讨会，此次研讨会以“绿色印刷，CTP先行”为主题，齐
微型彩色滤色器已成为实现ＬＣＤ彩色显示的主要手段，染色法因其色度性能好，工艺相对简单，成本低廉，而最先获得商业应用，本文介绍和分析用染色法制作滤色器的工艺过程及我们获得的结果，整