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限制电子显微镜分辨本领的主要因素是电子透镜的球差,对一系列的六极系统进行了理论计算和分析.计算表明利用2个静电六极透镜和1个中间透镜的系统可以消除3级球差.
静电六极球差矫正系统的理论计算
【摘 要】
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限制电子显微镜分辨本领的主要因素是电子透镜的球差,对一系列的六极系统进行了理论计算和分析.计算表明利用2个静电六极透镜和1个中间透镜的系统可以消除3级球差.
【机 构】
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云南大学物理系
【出 处】
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云南大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2001年3期
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