【摘 要】
：
随着非挥发性存储器(NVM)存储单元的特征尺寸进入20 nm节点,使用单层SiO2作为阻挡层的传统电荷俘获存储器结构性能上逐渐受到限制。基于阻挡层在存储器栅堆栈中的作用与基本
【基金项目】
：
国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(2011CBA00600,2010CB934200);国家自然科学基金资助项目(60825403,61176080,61176073);国家重大科技专项(2009ZX02023005)
论文部分内容阅读
随着非挥发性存储器(NVM)存储单元的特征尺寸进入20 nm节点,使用单层SiO2作为阻挡层的传统电荷俘获存储器结构性能上逐渐受到限制。基于阻挡层在存储器栅堆栈中的作用与基本要求,首先,指出单层SiO2作为阻挡层存在的主要问题,然后对高介电常数材料作为阻挡层时,其禁带宽度、介电常数、内部的缺陷密度以及退火工艺等方面对存储特性的影响进行了分析,同时对近年来研究较多的阻挡层能带工程进行了详细介绍,如SiO2和Al2O3的复合阻挡层结构、多层高介电常数材料的阻挡层结构等。最后,对目前研究进展中存在的问题以及未来的研究方向和趋势进行了总结和展望。
其他文献
1996年以前,福建的安溪县长期戴着"全国人口最多的贫困县"的不光彩的帽子,这与农业部授予的"中国乌龙茶(名茶)之乡的"荣耀相比,实在是令人汗颜。知耻而后勇,在安溪县二十几年
泌尿系结石是临床门诊中极为常见的病例，由此而引起的绞痛，给患者带来极大的痛苦。为了提高治愈率，既见效快，又经济、痛苦少，笔者采用一种集药物、电针、跳绳、拍打腰骶部等的综合
人文关怀主要强调的是爱与情感,在现代教育理念中占据的地位是不容忽视的。对于思政教育来讲,其作为培养、提升大学生思想道德素质的重要路径,应重视人文关怀理念的合理融入,
随着人类对居住环境要求的不断提高,彩叶植物以其色彩艳丽,观赏期长,营造的园林景观稳定性强,色相变化明显等无可比拟的优越性在园林行业中占有相当大的优势。选取紫叶矮樱、
群文阅读是近两年在中国悄然兴起的一种阅读教学的思想和活动。小学语文阅读教学要求以单篇文章阅读为基础,但重点是指导学生提取和整合多篇文章阅读中的信息。笔者根据我校
假装卖家在正规二手平台发布低价热销物品的信息,诱导买家脱离平台、线下联系,点击虚假链接付款,这种网络诈骗有一个专属名词叫作“杀鱼盘”。物品闲置不舍得丢,很多人会选择
自1999年以来,我们采用美宝湿润烧伤膏对52例高位肛瘘术后创面换药,取得了满意疗效,现报告如下.
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’＃陈川个美食
Back to yield
秦都咸阳是商鞅与秦孝公合作变法后建设的空前宏伟的都市。秦国政治领袖在咸阳完成了统一大业。咸阳作为秦王朝的都城,实现行政中枢的作用。随着秦北河经营、南海扩张以及东
《福建质量管理》杂志是由福建省经济贸易委员会主管、省质量协会主办、全国公开发行、集经济、质量、资讯为一体的综合性质量权威理论期刊。《福建质量管理》杂志将顺应时代